在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪

摘要：

该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。

关键词： 在线检测 超精细 微观形貌 激光轮廓仪

作者: 周肇飞 周卫东 李文杰 张涛

作者单位: 四川大学激光应用技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届四川省光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 99～104

在线出版日期: 2000-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）