会议专题

栅氧化方式对N沟输入CMOS运算放大器电离辐射效应的影响

介绍了干氧和氢氧合成两种不同栅氧化方式下制作的N沟输入CMOS运算放大器电路的电离辐照响应特征。并通过对电路内部单管特性损伤分析的比较,探讨了引起两者辐照敏感性差异的原因。结果显示,氢氧合成工艺之所以比干氧工艺损伤明显,是因为H的引入产生了更多的界面态,从而使其单管的跨导明显下降所致。表明,对N沟输入CMOS运放电路,抑制辐照感生氧化物电荷尤其是界面态的增长,对提高电路的抗辐射特性至关重要。

运算放大器 跨导 界面态 电离辐照 栅氧化

陆妩 郭旗 任迪远 余学锋 张国强

中科院新疆物理研究所(乌鲁木齐)

国内会议

第十届全国核电子学与核探测技术学术年会

成都

中文

495~499

2000-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)