圆和圆柱轮廓超精密测量技术研究进展

摘要：

该文主要介绍了圆和圆柱轮廓超精密测量技术的研究进展。它包括无谐波抑制误差分离技术；直行基准空间运动的激光监测技术；基准间误差分离技术；圆和圆柱轮廓的精确测量模型与求解技术等。该文最后展望了有前景的新测量技术，如基于共焦显微技术的轮廓测量方法；基于莫尔法和光栅投影的调制光场分析法等。

关键词： 圆柱轮廓 超精密测量 激光未直线基准 无谐波抑制误差分离技术

作者: 谭久彬 赵维谦 杨文国

作者单位: 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年计量测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 202～208

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）