激光光杠杆式原子力显微镜及其在测量光学表面微轮廓中的应用
该文叙述了激光光杠杆式原子力显微镜（AFM）的基本原理及主要性能，提出，用AFM测试研究光学和超光滑表面的微轮廓，可检测表面原子和分子量级的缺陷，得到微轮廓的真实图形，层析图及空间频谱图等。测得的各种表面图象及频谱参数对于研究微轮廓的分类定标及其对高质量成象的影响都有重要意义。该方法测量光学表面在横向，纵向均有高分辨率，弥补了各种干涉测量方法横向分辨很低的缺点。文内给出了相应的测试实例。
原子力显微镜 光学表面微轮廓 激光光杠杆
李剑白 王呜 肖韶荣 赵安庆 殷爱菡 张小林 李小芸
江西省科学院(南昌) 南昌大学(南昌)
国内会议
成都
中文
264-267
1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）