利用原子制作纳米图形

摘要：

介绍了利用激光场对原子束进行准直和聚焦，制作纳米图形的基本原理，实验方案，制造纳米尺寸图形结果，并指出该技术的发展前景。

关键词： 原子光刻 纳米图形加工

作者: 陈旭南 罗先刚

作者单位: 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 398～399

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）