电子工业光致抗蚀剂乳化废水预处理试验研究
本文研究了光致抗蚀剂乳化废水的预处理工艺.用硫酸和含钙辅助剂破乳分离出有机物沉淀,确定了量合适的预处理工艺参数和流程;用GC/MS法分析了废水的组成和浓度,并探讨了有机物的去除机理.试验结果表明,pH值控制在3,辅助剂A的浓度为300.0mg/L,静置时间为60min时,是最合适的工艺条件,废水的COD<,Cr>值从15 600.0mg/L下降到3 542.0mg/L,COD的去除率达77.4℅,投加辅助剂后既提高了有机物的去除率,又改善了沉淀物的过滤性能,从而有利于降低后续工艺的处理成本.
预处理工艺 电子工业 COD<Cr>去除 破乳 光致抗蚀剂 乳化废水
马前 李义久 陈伟 倪亚明
同济大学(上海市) 上海市苏州河综合整治建设有限公司(上海市)
国内会议
武汉
中文
275-279
2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）