离子注入实现的ＭＱＷ混合蓝移效应

摘要：

用Ｐ〈’＋〉离子注入ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ应变多量子阱激光器结构，再经Ｈ〈，２〉／Ｎ〈，２〉混合气氛下的快速退火，体内ＭＷＱ层中发生组份混合，导致激光器件的激射波长蓝移７７．９ｍｍ，而未作注入的纯退火区器件蓝移只有５．２ｍｍ。

关键词： 诱导蓝移 多量子阱 激光器

作者: 朱洪亮 汪孝杰 王圩 韩德俊

作者单位: 科学院半导体研究所(北京) 师范大学低能核物理所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 216～219

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）