关键词： 铕离子注入 氧化硅膜 可见光发射
作者: 王亮 郑怀德
作者单位: 科技大学研究生院物理系(北京) 科学院半导体研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 220～222
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）