半导体工厂大宗气体系统的设计

摘要：

本文对集成电路芯片厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,对当前气体设计技术及其发展方向作了探讨,同时结合自己对多个FAB厂房的设计经验提出了设计中值得注意的问题和解决方案.

关键词： 半导体工厂 集成电路 大宗气体 气体站 纯化

作者: 方军

作者单位: 上海克里斯多工程有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 417-424

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）