IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究

摘要：

本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的二套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响.

关键词： 超纯水 膜脱气 TOC-UV装置 集成电路工艺 总有机炭

作者: 王铁坤 华卫群

作者单位: 无锡微电子科研中心(江苏无锡)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 407-416

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）