8”芯片生产厂超纯水系统设计浅析

摘要：

本文以8”芯片生产厂超纯水系统为实例,浅析250T/h以上的大规模超纯水系统和管网的设计,并就施工中的质量和安全管理作了一些探讨.

关键词： 超纯水 水质 流程 管网 芯片生产

作者: 吴晔榴

作者单位: 宝维士联得利半导体集团

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 393-399

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）