半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

摘要：

本文除概略介绍气体检测器的种类外,主要对气体检测器的原理和实际使用中的局限性作一基本归纳叙述.限于篇幅,本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上,提出个人的一点心得与看法,以作为未来设置气体检测器系统时之参考.

关键词： 气体检测器 可燃性气体 毒性气体 检测器评估 设置规划 半导体芯片

作者: 胡仕新

作者单位: 宝维士联盛工程咨询上海有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 383-392

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）