洁净室技术应用中当前的几个热点问题

摘要：

对当前较被关心的问题,如洁净室的气流速度的确定,FFU系统的应用及悬浮分子污染控制,进行情况归纳和分析.

关键词： 气流速度 换气次数 过滤器满布率 带风机过滤器单元 悬浮分子污染 洁净室技术

作者: 严德隆

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 241-246

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）