洁净室气流设计及其经济意义

摘要：

本文论述的洁净室其作用是控制悬浮粒子浓度,以便在关键的洁净室环境中得到满意的使用效果,并且在能耗方面也是有效利用.高效的空气系统有助于实现洁净室的高性能,并影响着洁净室工业的商业底线.

关键词： 洁净室 悬浮粒子 污染控制 采暖通风系统 能源消耗 运行费用

作者: 徐腾芳

作者单位: 美国加利福尼亚94720伯克莱,劳伦斯巴克莱国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 209-224

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）