洁净室—规程与规定

摘要：

从专业性建筑工程领域到工艺工程的发展最终要受到各种规范和规定的支持,一般来说,这些要求都与洁净室工程有关,它对洁净室工程和工艺工程的影响是最终的但并非是最小的,它体现于国家和国际颁布的GMP导则中,以确定适用的先进制造工艺的要求.

关键词： 洁净室 微电子 制药 工艺工程 规程 规定

作者: 盖劳特·迪特 艾文·伯克勒

作者单位: 迪特洁净室工程公司(德国) KM工业公司新技术研发部(德国)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 141-180

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）