超大规模集成电路工程设计中的防微振技术

摘要：

超大规模集成电路工程设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用概念设计的方法,来解决防微振问题.

关键词： 微污染控制 微振动 环境振动 允许振动 隔振 超大规模集成电路

作者: 陈骝 俞渭雄

作者单位: 中国电子工程设计院防微振工程设计研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 430-442

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）