软X射线位相型波带片的初步研究

摘要：

简述了国内外软X射线波带片的发展及其最新研究成果.根据光波的矢量分析方法,数值模拟计算了入射波长为软X射线显微术中常用的2.3、3.2和4.5nm时,以不同材料制作的位相波带片其衍射效率随材料厚度的变化曲线,初步确定出适于制作位相波带片的几种材料.简要介绍了拟采取的制作软X射线位相波带片的方法.

关键词： 软X射线 位相波带片 衍射效率 矢量分析

作者: 刘颖 付绍军

作者单位: 中国科技大学国家同步辐射实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 332-334

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）