质子交换铌酸锂多模干涉光功分器的研制

摘要：

采用退火质子交换工艺在铌酸锂衬底上实现了渐变边界MMI光功分器.测量表明该器件有较好的光均分功能.利用红外光谱技术分析了利用纯苯甲酸质子交换源的退火质子交换波导的红外吸收光谱特性,证明通过适当地选择质子交换温度、时间和退火的温度与时间,可以实现低损耗质子交换光波导的制作.

关键词： 光功分器 质子交换 铌酸锂 多模干涉 红外吸收光谱 光波导

作者: 李锡华 卢山鹰 王明华

作者单位: 浙江大学信电系半导体光电子技术与系统研究所(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 297-300

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）