火焰水解法制备SiO<,2>-GeO<,2>平面波导材料

摘要：

本文采用火焰水解法(FHD)在单晶Si片上快速淀积SiO<,2>/SiO<,2>-GeO<,2>厚膜,再经过高温玻璃化处理,获得了玻璃态的平面波导材料.下包层SiO<,2>膜的厚度约为40μm,波长1550nm处的折射率为1.4462,芯层SiO<,2>-GeO<,2>膜的厚度为5μm,折射率为1.4631.分别采用XRD、XPS、SEM和椭偏仪等对波导材料表面特性和折射率等进行了测试分析.

关键词： 平面波导 火焰水解法(FHD) 玻璃态 折射率 列阵波导光栅

作者: 郑伟 吴远大 邢华 张乐天 李爱武 刘国范 张玉书

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 253-256

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）