亚波长超微细减反射结构研究

摘要：

当光栅周期小于所使用的波长时,亚微米的表面微结构可以具有减反射作用.本文报导率了理论研究和制作技术,成功地制作了周期为400nm等的超微细结构,测量结果与理论值具有良好的一致性.

关键词： 亚波长 微细结构 减反射 衍射光学 矢量分析法

作者: 杨李茗 柴立群 周礼书 杨春林

作者单位: 成都精密光学工程研究中心(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 87-92

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）