GaAs基谐振腔增强型光电探测器

摘要：

本文报道了利用MBE和MOCVD方法生长外延材料并制作出GaAs基谐振腔增强型光电探测器,进行理论分析和实验研究的结果.

关键词： 光电探测器 GaInNAs 光收发一体模块 光电二极管 谐振腔增强型

作者: 梁琨 杨晓红 吴荣汉

作者单位: 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 345-349

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）