硅基聚合物AWG波分复用器研究

摘要：

报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩小甘油酯共聚物研制AWG波分复用器,对其原理、设计及制作工艺进行了研究.设计出AWG版图,利用铅掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作.实验结果表明,制备的波导实现了单模传输.

关键词： 列阵波导光栅 聚合物 波分复用器 光通信网

作者: 张大明 赵禹 王菲 陈开鑫 崔占臣 马春生 许武

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(长春);集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春) 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春) 吉林大学化学学院(长春) 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国光学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 340-344

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）