电泳法玻璃钝化机理及其应用

摘要：

玻璃钝化由于具有较高的可靠性和稳定性被广泛应用在高反压大功率二极管的台面钝化.本文介绍电泳法玻璃钝化的机理,工艺流程及实验过程.

关键词： 玻璃钝化 电泳法 大功率二极管 电泳硅片

作者: 魏庆忠

作者单位: 天津市中环半导体有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2002天津IT、网络、信息技术、电子仪表创新学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 124-130

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）