用于全方位离子注入与沉积的固体脉冲调制器

摘要：

采用八只IXLF19N250A IGBT串联成功了用于全方位离子注入与沉积的10kV固体脉冲调制器.假负载试验表明:该固体脉冲调制器的最高输出电压为14kV、最高输出脉冲电流为20A、输出脉冲宽度可在2us和112us之间以1us步长变化、脉冲重复频率范围为1Hz~4kHz,短时间可以工作到8.6kHz,上升时间约为300ns;但在等离子体负载上使用时,由于输出电缆电容和输出线电感影响,上升时间和下降时间都不理想.

关键词： 全方位离子注入 固体脉冲调制器 IGBT 假负载

作者: 甘孔银 王浪平 汤宝寅 王小峰 王松雁 武洪臣

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室 航空第一集团公司625所高能束流加工技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种连接技术交流会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 229-233

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）