Particle-in-cell方法对金属等离子体运动的研究

摘要：

本文用Particle-in-cell(PIC)方法建立了双等离子体沉积方法中非均匀金属等离子体运动过程的数值模型,研究了不同模拟时刻金属等离子体的密度和衬底上沉积粒子的均匀性分布,研究结果表明,金属等离子体密度分布在一定模拟时间后达到稳定状态,这个模拟时间主要由等离子体运动速度和模拟空间的长度决定.模拟结果还表明在一定的模拟时间后,金属等离子体在衬底的分布达到稳定状态.

关键词： 金属等离子体 双等离子体沉积 均匀性 薄膜沉积 数学模拟

作者: 王浪平 甘孔银 王小峰 汤宝寅 于永皓 王宇航 刘洪喜

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种连接技术交流会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 203-207

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）