窄脉冲保形全方位离子注入进展
本文叙述了窄脉冲保形全方位离子注入发展过程,评述了近几年来PⅢ过程鞘层动力学计算机数值模拟研究,强流脉冲阴极弧金属等离子体源,大功率固体电路脉冲调制器高压电源,及窄脉冲保形全方位离子注入工业机研制方面的重大进展.
等离子体浸没离子注入 全方位离子注入 鞘层动力学计算机模拟 阴极弧金属等离子体源 金属表面改性
汤宝寅 王浪平
哈尔滨工业大学,现代焊接生产技术国家重点实验室
国内会议
哈尔滨
中文
32-37
2002-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)