磁过滤真空弧方法制备DLC薄膜及其摩擦学特性

摘要：

本研究利用磁过滤金属蒸汽真空弧(MEVVA)沉积设备制备无氢非晶金刚石薄膜,开展了不同衬底材料对非晶金刚石薄膜的制备及性能的影响,以开发非晶金刚石薄膜在耐磨损涂层方面的应用.

关键词： 非晶金刚石薄膜 薄膜制备 磁过滤真空弧法 摩擦学性能

作者: 张旭 吴先映 张通和 张荟星

作者单位: 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室;低能核物理研究所;北京市辐射中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届表面工程技术产业化学术交流会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 186-189

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）