脉冲直流PCVD及制备硬质薄膜的工业应用

摘要：

本文简要介绍了脉冲直流PCVD的成膜特点,并举例说明了脉冲PCVD在模具中的应用情况,经表面强化后的模具其韧性、耐磨性及抗热疲劳性能均有显著提高.

关键词： 硬质薄膜制备 成膜特点 脉冲直流PCVD 模具 表面处理

作者: 马大衍 马胜利 徐可为

作者单位: 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届表面工程技术产业化学术交流会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 159-161

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）