超硬薄膜的研究进展及其产业化

摘要：

超硬薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度.非本征硬度超硬薄膜其超硬性和力学性能取决于它们的显微结构,本文主要介绍非本征硬度超硬薄膜的研究进展和应用情况.

关键词： 超硬薄膜 力学性能 纳米多层膜 复合膜

作者: 李成明 曹尔妍 孙晓军 吕反修 唐伟忠

作者单位: 北京科技大学材料学院;中国科学院力学研究所;中国科学院兰州化学物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届表面工程技术产业化学术交流会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 27-31

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）