MEVVA源技术及应用

摘要：

采用金属蒸汽真空弧放电技术原理研制成功的MEVVA离子源,具有离子种类多,离子束流强,运行稳定可靠等一系列优点.本文将介绍装配有ⅡA-H和50型MEVVA源的离子注入设备以及它们的工业应用情况.

关键词： 离子注入 MEVVA离子源 离子注入机

作者: 张荟星 吴先映 张旭

作者单位: 北京师范大学低能核物理研究所,射线束技术与材料改性教育部重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届表面工程技术产业化学术交流会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 16-20

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）