Fe-N薄膜的时效研究

摘要：

本文利用对向靶直流磁控溅射制备Fe-N膜,并对其时间稳定性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件下放置半年以上,其膜的成分及各相含量基本未变.

关键词： 铁氮化合物 Fe-N薄膜 时效 磁控溅射法

作者: 赵慈 许英华 吴萍 姜恩永

作者单位: 天津大学理学院应用物理学系(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国磁学和磁性材料会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 439-439

在线出版日期: 2002-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）