非晶氢化碳化硅薄膜的沉积和硬度特性研究

摘要：

非晶a-SiC:H薄膜具有良好的摩擦学性能,尤其具有高硬度.这类膜的性质主要取决于制备条件.本文报道了类石墨型a-C:H中含有少量硅时,硅对薄膜性能影响方面的研究.

关键词： 非晶氢化碳化硅薄膜 薄膜性能 沉积条件

作者: 容幸福 秦志钰 潘俊德

作者单位: 太原理工大学表面工程研究所;太原理工大学机械工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届表面工程技术产业化学术交流会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 190-192

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）