扫描电镜透过表面绝缘层透视检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新技术

摘要：

本文在这里首次公布在扫描电子显微镜SEM中应用我们研制成功的能透过表面绝缘层透视检测半导体和集成电路IC及真空微电子器件VMD被掩盖在绝缘层表面下的微结构及缺陷的新检测法(简称透表法)和新检测仪(简称透表仪)观测IC样品所得到的照片及测量结果.它突破了SEM的传统应用功能.本文还提出了在SEM中提高图像信噪比的有效方法.

关键词： 透视检测 半导体 集成电路 真空微电子器件 扫描电镜

作者: 王建 李亚文 肖玲 梁竹关 周开邻 李萍 徐晓华 Pay Э.И. 胡问国

作者单位: 云南大学物理系 昆明物理研究所 俄罗斯

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 151-154

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）