共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟

摘要：

采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟了共面双栅极金刚石薄膜FEAs的特性,在模拟时假设其结构为长条型,得到了该结构的电子轨迹、相空间图和发射电流的特性,表明反射极对电子注有会聚作用,从而形成良好的电子注.

关键词： 场发射 阴极 金刚石薄膜 计算机模拟

作者: 曾葆青 刘阳 杨崇峰 杨中海 钱尚介

作者单位: 电子科技大学高能电子学研究所;核工业西南物理研究院 电子科技大学高能电子学研究所 北京真空电子技术研究所 核工业西南物理研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 74-77

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）