外延纳米金刚石膜及其场发射特性

摘要：

本文研究了纳米金刚石外延薄膜的制备方法及其场发射特性.采用电泳方法将粒径20nm以下的纳米金刚石微晶沉积到Ti电极衬底上,用热丝CVD方法在纳米金刚石微晶薄膜上再外延生长一层含非晶碳金刚石薄膜.用Raman光谱研究了外延纳米金刚石薄膜的结构并在高真空条件下研究了它的场发射特性.

关键词： 纳米金刚石 外延 场发射 阴极材料

作者: 王维彪 顾长志 纪红 张传平 赵海峰

作者单位: 中国科学院长春光机与物理所(长春) 吉林大学超硬材料国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 72-73

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）