金刚石薄膜的场发射特性

摘要：

本文研究了金刚石薄膜的场发射特性.从金刚石薄膜自身的角度,研究了不同的晶体结构对场发射的影响;从金刚石薄膜和硅衬底的界面形态的角度,研究了光滑界面和划痕界面对场发射的影响;从金刚石与衬底的过渡层的角度,研究了高电导率的CoSi<,2>过渡层对金刚石膜场发射特性的影响.

关键词： 金刚石薄膜 场发射 纳米结构 界面 过渡层 化学气相合成

作者: 顾长志 孙越 金曾孙

作者单位: 吉林大学超硬材料国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 29-32

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）