非正态分布工艺参数情况的工序能力指数分析

摘要：

对工艺参数为非正态分布的工序,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.采用本文提出的方法和开发的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和PPM水平下的工艺不合格品率.

关键词： 工序能力指数 成品率 正态分布 非正态分布 微电子器件 等效工序能力指数 工艺参数

作者: 贾新章 蒲建斌 宋军建

作者单位: 西安电子科技大学微电子所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 315-319

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）