工业应用是氦质谱检漏仪的发展方向

摘要：

在实践中传统的正向常规检漏,在工业密封检漏中遇到了挑战,而氦质谱检漏在我国工业密封检漏中充分显示出其重要性和不可替代性,有广阔的发展前景.

关键词： 氦质谱检漏仪 工业检漏 真空技术

作者: 周小弟

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 130-131

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）