真空灌封

摘要：

在真空器件的研制和高压电源的研制过程中,常常要进行灌封,以保证性能.本文根据真空下物质的特点,提出了真空灌封的工艺应用.

关键词： 真空灌封 真空器件 集成高压电源 灌封原理

作者: 樊会明

作者单位: 中国科学院电子学研究所三室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 108-109

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）