静电损伤和过电应力损伤的比较

摘要：

本文对集成电路静电损伤(人体模型)和过电应力损伤进行了研究,从I-V特性测试、带钝化层芯片表面扫描电镜观察及芯片表面剥层后的扫描电镜观察三个方面,分析比较出过电应力损伤和静电损伤的区别,在给集成电路下失效分析结论时有重要的参考意义.

关键词： 集成电路 静电损伤 过电应力损伤 扫描电镜 失效分析

作者: 李兴鸿 赵春荣 王勇

作者单位: 北京微电子技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 248-251

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）