在电工电子工业中应用的氦质谱检漏仪及其辅助设备

摘要：

本文首先分析了氦质谱检漏仪的工作原理,然后介绍了电工电子工业通常采用的三种检漏方法,并与氦质谱检漏进行了对比分析,最后介绍了氦质谱检漏仪及辅助设备的组成.

关键词： 氦质谱检漏仪 电工电子产品 喷吹法检漏 吸入法 加压法

作者: 周小弟

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 92-96

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）