高温超导探测器的电极工艺发展

摘要：

随着超导薄膜制备技术的成熟,高温超导探测器研制也已从单元走向多元、并向集成化发展,本文介绍作为高温超导探测器研制的关键技术之一—电极工艺的发展状况.

关键词： 高温超导探测器 电极工艺 超导器件 超导薄膜

作者: 黄江平 黄宗坦 曾群德

作者单位: 昆明物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 75-78

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）