彩色PDP中MgO薄膜结构研究

摘要：

本文研究作为彩色等离子体显示器(PDP)中的介质保护膜,要求具有优良的二次电子发射性能,为此必须优选基底温度、氧分压强、沉积速率及膜层热处理温度等.

关键词： 彩色等离子体显示器 氧化镁薄膜 结构特征 电子发射性能

作者: 郑德修 喻志农

作者单位: 西安交通大学电子物理与器件研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 69-71

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）