微电子器件工艺缺陷对可靠性的影响分析及其控制方法

摘要：

本文重点论述了微电子器件在整个制造工艺中锈生的缺陷对器件质量和可靠性的影响,并介绍了国内外厂、所对工艺环境及工艺缺陷的控制方法.

关键词： 半导体器件 工艺缺陷 质量可靠性 工艺控制 微电子器件

作者: 王长河 彭苏娥

作者单位: 电子13所(石家庄市) 电子5所(广州市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 214-221

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）