用于IC芯片失效定位的无源电压衬度象

摘要：

用信号寻迹法确定IC芯片的失效部位,通常要开封并通电驱动芯片.由于IC管脚多,测试向量多,驱动芯片的手续十分繁杂.对金属化层开路和短路等失效部位,用无源电压衬度象进行失效定位,有时可省去驱动芯片的麻烦,简化失效分析程序.

关键词： 失效定位 无源电压衬度象 扫描电子显微镜 IC芯片

作者: 费庆宇

作者单位: 信息产业部电子五所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 188-191

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）