环形固体背散射探测器的最佳检测距离

摘要：

本文主要讨论了扫描电镜中常用的环形固体背散射探测器的工作原理,并根据其探测器的几何尺寸,计算出最大的接收立体角,得出最佳的工作距离.使操作人员能够在一定参数和最佳的工作距离下得到一幅最清晰的背散射图像.

关键词： 扫描电镜 背散射电子 探测器 立体角 工作距离 图像

作者: 施明哲 马鑫

作者单位: 信息产业部电子五所(广州市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 184-187

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）