WLR测试技术

摘要：

介绍了圆片级可靠性测试技术,对其特点和作用作了详细的论述.测试内容上着重介绍了金属化完整性测试、氧化层完整性测试、连接完整性测试和热载流子注入测试,对不同测试结构的作用进行了说明.

关键词： 圆片级可靠性技术 斜坡电压 斜坡电流 氧化层完整性 连接完整性 热载流子注入

作者: 章晓文

作者单位: 信息产业部电子第五研究所(广东广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 179-183

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）