微电子可靠性技术发展动态

摘要：

本文论述了国内外微电子可靠性技术发展状态,着重论述了可靠性设计、制造过程的质量与可靠性、失效分析技术发展与应用,指出可靠性设计与可靠性评价将成为未来国内集成电路可靠性技术发展的两条主线.

关键词： 集成电路 可靠性设计 可靠性评价 失效分析 工艺质量监测

作者: 恩云飞

作者单位: 信息产业部电子第五研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 173-178

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）