硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

摘要：

作者封装、测试了硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器,在计算机模拟的计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器,进行了实物测试,得出实物测试场致发射电流曲线、压力特性曲线及灵敏度数据.

关键词： 真空微电子 压力传感器 模拟测试 压力特性 测试

作者: 陈绍凤 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 55-58

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）