会议专题

场致发射中离子轰击问题的研究

在场致发射器件中,发射电流的稳定性是衡量器件质量的一个重要因素.由于在器件中存在残余气体,从场致发射体发出的电子与气体分子相互作用,电离产生离子.这些正离子在电场力的作用下,回轰发射体表面,使发射体尖端形状受到损伤,改变了电场分布,最后造成发射电流的衰减.本文利用一套计算机模拟程序,分析了电子束电离产生离子,以及离子回轰发射体表面造成阴极损伤的过程.得到了发射电流衰减与残余气体压强,发射体工作时间的关系.这些结论为更准确地分析发射体的发射特性提供了大量有用信息.

发射体 离子回轰 阴极损伤 发射电流衰减 场致发射

李俊涛 雷威 王保平 尹涵春

东南大学电子工程系(南京)

国内会议

第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

西安

中文

40-44

2001-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)